摘要：

DVD-RAM光盘可以大量记录数据又可重复使用，未来将是记录媒体的主流。其大量记录与可擦拭性的特点是来自于相变化式的记录膜层，记录膜层的好坏则来自于溅镀靶材的品质与镀膜技术。薄膜材料如何以相变化的现象来达到记录数据的功能、Ge-Te-Sb材料的特性为何成为相变化记录材料的主流、目前靶材的技术发展现况及溅镀用相变化靶的制作过程等等都是本文关切的内容，最后将列举本所试制的靶材与日本相关产品的比较，以供简单的参考。

关键词：DVD-RAM、靶材、相变化、Ge-Te-Sb、擦拭率、热压烧结。

一、相变化材料原理简介

1965年N.Kh. Abricosov ^1)，及1968年S.R.Ovshinsky²⁾所发现的硫属薄膜材料(Chalcogenide)具有无序-有序之记忆现象(时称为Ovonic Memory)，可说的上是最早的相变化可擦拭现象之合金系统材料。之后1971年，J. Feinleib³⁾提出：已聚焦的激光束作为热源，照射在薄膜的微米尺度区域上，会使此区域的材料晶型与非晶形相间作可逆式的转换，借着晶型及非晶形相的不同光学性质，即可判断各区域的状态。因此，在晶型相的背景下，单位位(Bit)的信息即可储存于非晶相的小点中。此即为可擦拭相转变光纪录媒体(Phase-change Erasable Optical Recording Media)的纪录原理⁴⁾。

过去在发展可重复读写光盘时，主要有两大系统，一为磁光盘片(Magneto-Optical disks，MO)；另一则是相变化光盘(Phase- Change Erasable disks， PCE)。随着技术的演进及市场的变化，目前是以相变化型记录媒体占绝大的优势，其主要的理由有下几点：(1)读写动作不需另加一磁头即可完成。(2)可以借着调变雷射光功率大小和脉冲长短作直接盖写的动作(direct overwrite)。(3)使用简单的光学原理来读取讯号，而能有较大幅度的讯号来源。(4)简单的读写机制，能设计出成本低且具高信赖度的光驱。(5)容易设计出与他种光盘片兼容的光驱。(6)光吸收或反射率的改变，可在很大范围的波长内进行。

要如何选择好的相转变光纪录用材料，以理论来看至少要满足以下的要求：(1)可记录，易形成非晶质结构。(2)耐久储存，稳定的非晶质相。(3)可擦拭，快速结晶。(4)可读取，高讯号比。(5)可重复擦写，多层薄膜稳定性。下表1为目前发展中的不同形式的相变化记录层材料。

表1 不同形式的相变化记录层材料。

相 变 化 形 式	使 用 材 料
非晶态

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